研究样品变温电学性能测试而设计的产品可表征样品电学性能随温度变化的特征。

• 1、温度稳定性: ＜0.05 °C

• 2、结构紧凑，可兼容多种厚度的样品测试 

• 3、被测样品厚度范围：10 μm ~ 2 mm 

• 4、温度范围: -50 ~ 150 °C 

• 5、气密腔室设计，可通保护气体可升级真空腔室，0.01 mbar 

• 6、上位机控制 

• 7、上位机软件控制支持改动或定制